特許

J-GLOBAL ID：200903039619316710

露光光投射装置

発明者： 笹野 幹雄
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-078400
公開番号（公開出願番号）：特開平6-291023
出願日： 1993年04月06日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】従来、行なっていたアパーチャの交換操作を無くして光学部品の汚染を防止するとともに無駄な時間の浪費を無くす。また、転写パターンに適合する露光光の遮光形状に瞬時に変えられるようにして適切なコヒーレンスファクタをもつ照明光を投射する。【構成】露光光5を一方向に反射するミラー1を四角形状のセグメント1aに分割し、これらセグメント1aの一端を支点として回転し得るようにし、これらセグメント1aの中から任意に選択し選ばれたセグメント1aを回転させミラーの反射面から外し、セグメント1aの回転により生ずる開口より露光光2を通過させ所望の遮光形状を形成する。

請求項（抜粋）：

光源部から蠅の目レンズを介して投射される露光光を一方向に反射するミラーを備える露光光投射装置において、前記ミラーを四角形状または輪帯形状の複数のセグメントに分割し、分割されたこれらセグメントの中から任意に選択して反射面から外し、残りの該セグメントで構成される反射面で前記露光光を反射することを特徴とする露光光投射装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/54 ,  G03F 7/20 521