特許

J-GLOBAL ID：200903039638718820

耐ハロゲン系ガス腐食性及び耐ハロゲン系プラズマ腐食性に優れたコーティング膜並びに該コーティング膜を施した積層構造体

発明者： 池田 貢基 ,  久本 淳 ,  大西 隆 ,  山本 正剛 ,  板山 克広
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所 ,  神鋼コベルコツール株式会社
代理人 (1件)： 植木 久一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-256582
公開番号（公開出願番号）：特開平9-095765
出願日： 1995年10月03日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】 熱・プラズマCVD装置等の真空装置におけるマイクロ波導入用の窓材について透明性や耐熱性を損なうことなく耐弗素プラズマ性を改善する。特に常に安定して優れた耐ハロゲン系ガス腐食性及び耐ハロゲン系プラズマ腐食性を発揮することのできるコーティング膜及び積層構造体の提供を目的とする。【解決手段】 溶融石英ガラス製等の透明セラミックス製窓材のチャンバー内側となる面、或はその他種々の基材上に形成され得るAlの酸化物薄膜であり、O/Alの原子比が1.3以上1.5未満であり、X線回折において半値幅が5°以下のピークを有しないものである。

請求項（抜粋）：

Alの酸化物を主体とする薄膜で構成され、O/Alの原子比が1.3以上1.5未満であり、X線回折において半値幅が5°以下のピークを有しないものであることを特徴とする耐ハロゲン系ガス腐食性及び耐ハロゲン系プラズマ腐食性に優れたコーティング膜。

IPC (3件)：

C23C 14/08 ,  C23C 14/35 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

C23C 14/08 A ,  C23C 14/35 Z ,  H01L 21/31 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭62-159418
  
• アルミナ質ベルジヤ-
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-016149   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 光ディスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-216544   出願人：京セラ株式会社

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-159418
  
• 特開昭62-159418
  
• アルミナ質ベルジヤ-
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-016149   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 光ディスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-216544   出願人：京セラ株式会社