非熱プラズマスリット放電装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：酒井一 , 蔵合正博
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-543058
公開番号（公開出願番号）：特表2005-509255
出願日： 2002年11月04日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：

少なくとも一個のスリットを有する第一の誘電体と、複数の電極セグメントを含むセグメント化電極とを含む非熱大気圧プラズマ反応器。各電極セグメントは、組み合わされるスリットの近傍に且つこのスリットと流体連通関係にあるように設けられている。誘電体のスリットは何通りもの方法で形成でき、例えば、実質的に平面状の誘電体プレートに形成された複数のスリットとすることができる。他の構成としては、複数の誘電体セグメント(バー、スラブ、リング、環状部等)を用いるものが挙げられ、これらは、隣接する誘電体セグメント間にスリットが形成されるように組立てられている。動作時、第一の誘電体の近傍に設けられた受側電極とセグメント化電極との間に電圧差が与えられ、プラズマ放電が発生する。プラズマ放電は、第一の誘電体のスリットを通って放射される。本発明のプラズマ放電装置の構成は、比較的大きな体積に亘って比較的高密度の非熱プラズマ放電を生成し、然も比較的容易に且つ低コストで製造できる。

請求項（抜粋）：

少なくとも一個のスリットを有する第一の誘電体と、複数の電極セグメントを含むセグメント化電極とを含み、各電極セグメントは、組み合わされるスリットの近傍に且つこのスリットと流体連通関係にあるように設けられているプラズマ反応器。

IPC (6件)：

H05H1/24 , B01D53/44 , B01J19/08 , F01N3/02 , F01N3/08 , H01J37/32

FI (6件)：

H05H1/24 , B01J19/08 E , F01N3/02 301F , F01N3/08 C , H01J37/32 , B01D53/34 117Z

Fターム (19件)：

3G090AA06 , 3G091AA02 , 3G091AB14 , 3G091BA39 , 4D002AA40 , 4D002AB03 , 4D002BA07 , 4D002CA20 , 4G075AA03 , 4G075AA22 , 4G075AA37 , 4G075BA04 , 4G075DA02 , 4G075EB41 , 4G075EC21 , 4G075ED01 , 4G075FA01 , 4G075FC11 , 4G075FC15

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭61-118136
特開平3-161015
特開昭61-118136

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