特許
J-GLOBAL ID:200903039655038905
ダイヤモンドの析出方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-250399
公開番号(公開出願番号):特開平5-058784
出願日: 1991年09月02日
公開日(公表日): 1993年03月09日
要約:
【要約】【目的】非ダイヤモンド質を含まず、基体への密着性の高いダイヤモンド膜を得る。又、一定の模様等を形成するようにダイヤモンド膜を析出させる。【構成】ダイヤモンド結晶の臨界核径に近い2〜100nmの粒径のダイヤモンド超微粒子を基体表面に付着させた後、これを結晶核として気相合成法で膜状ダイヤモンドを析出させる。又、前記ダイヤモンド超微粒子を基体表面の特定の領域に付着させることにより、生成したダイヤモンド膜が一定の模様等を形成するように設定する。
請求項(抜粋):
基体表面に粒径2〜100nmのダイヤモンド超微粒子を付着させた後、該基体表面に気相合成法により前記ダイヤモンド超微粒子を結晶核とする膜状ダイヤモンドを形成させることを特徴とするダイヤモンドの析出方法。
IPC (2件):
引用特許:
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