特許
J-GLOBAL ID：200903039662756724

基板搬送機構及び処理システム

発明者：
石沢 繁

石沢 繁 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-176994
公開番号（公開出願番号）：特開2006-351884
出願日： 2005年06月16日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：
【課題】 基板を、熱伸縮や個体差による基板の直径の変動の影響を受けることなく、搬送目標位置に位置ずれなく正確に移載することができる基板搬送機構を提供する。【解決手段】 基板Wを搬送する基板搬送機構16、20において、屈伸及び旋回可能になされた搬送アーム部50、56と、搬送アーム部の先端に設けられるピック部52、58と、ピック部に設けられて基板を保持した時の基板の位置を検出するための基板位置検出センサ部54と、基板位置検出センサ部の出力に基づいて基板の中心位置を求める中心位置演算部72と、求めた中心位置と予め定められた基準中心位置とのずれ量を求めるずれ量演算部74と、ピック部に保持されている基板を搬送目標位置に移載する際にずれ量を相殺するように搬送アーム部を制御するアーム制御部76とを備えた基板搬送機構である。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
円形の基板を搬送する基板搬送機構において、 屈伸及び旋回可能になされた搬送アーム部と、 前記搬送アーム部の先端に設けられて前記基板を載置して保持するためのピック部と、 前記ピック部に設けられて前記基板を保持した時の前記基板の位置を検出するための基板位置検出センサ部と、 前記基板位置検出センサ部の出力に基づいて前記基板の中心位置を求める中心位置演算部と、 前記求められた中心位置と予め定められた基準中心位置とのずれ量を求めるずれ量演算部と、 前記ピック部に保持されている前記基板を搬送目標位置に移載する際に前記ずれ量を相殺するように前記搬送アーム部を制御するアーム制御部と、 を備えたことを特徴とする基板搬送機構。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  H01L 27/14
FI (3件)：
H01L21/68 A ,  B65G49/07 C ,  H01L27/14 Z
Fターム (29件)：
4M118AA09 ,  4M118AB10 ,  4M118BA10 ,  4M118FA08 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA04 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031JA02 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA36 ,  5F031JA51 ,  5F031KA10 ,  5F031KA11 ,  5F031KA12 ,  5F031MA04 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031PA02 ,  5F031PA11
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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