特許
J-GLOBAL ID:200903039663902252

積層形圧電変位素子の固定構造

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-243636
公開番号(公開出願番号):特開平5-077431
出願日: 1991年09月24日
公開日(公表日): 1993年03月30日
要約:
【要約】【目的】 積層形変位圧電変位素子を基台と接着して使用する場合、基台と積層形圧電変位素子との間の接着層にクラック及び剥離が入らず、変位の歪みの発生がない単一方向へ振動の指向性があり、同一基板上の積層形圧電変位素子同士の干渉が小さく、変位量及び変位速度のばらつきが小さく、接着剤のはみ出しによる変位の拘束がない積層形圧電変位素子の固定構造を提供する。【構成】 一方の電極を構成する導電層1と、他方の電極を構成する導電層2とが、互いに平行になるように交互に圧電体3をサンドイッチ状に配設する。前記各導電層1、2に挟まれた部位が活性部6であり、挟まれない部位5、5aが不活性部である。変位部9(活性部6)は矢印A方向に振動し、不活性部5は張り出させて基台4と接合部4aにて接合する。
請求項(抜粋):
圧電体と電極とが交互に積層された積層形圧電変位素子を基台に固定する構造であって、前記積層形圧電変位素子に電圧印加時に変位する活性部と変位しない不活性部とを設け、前記不活性部を基台から張り出させて不活性部のみを基台に接着したことを特徴とする積層形圧電変位素子の固定構造。
IPC (2件):
B41J 2/16 ,  H01L 41/09
FI (2件):
B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 S
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平3-197049

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