特許

J-GLOBAL ID：200903039670717118

荷電粒子露光方法及びその装置

発明者： 濱口 新一
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-335580
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172895
出願日： 1996年12月16日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 従来装置では、微分信号を閾値と比較することでビームサイズを測定するため、閾値の設定そのものにあいまいさを含んでおり、また閾値の変動によってビームサイズが変動し、正確なビームサイズの測定が行えない。【解決手段】 独立にビーム31のオン/オフを制御できるアパーチャ32を走査方向に互いに離間させて複数配置し、投影面上の所定位置で荷電粒子ビームを検出する検出手段38と、複数のアパーチャを通過した荷電粒子ビームを走査して、一つのアパーチャを通過した荷電粒子ビームが上記検出手段で検出されてから次のアパーチャを通過した荷電粒子ビームが上記検出手段で検出されるまでの期間と、上記複数のアパーチャの離間距離と、各アパーチャの走査方向幅とから上記投影面上の荷電粒子の走査方向幅であるビームサイズを計算する計算手段とを有する。

請求項（抜粋）：

アパーチャを通過した荷電粒子ビームを縮小レンズにより縮小して投影面上を走査し、上記投影面上の試料の露光を行う荷電粒子露光方法において、上記アパーチャを上記走査方向に互いに離間させて複数配置して、それらを通過する電子ビームを独立にオン/オフし、上記投影面上の所定位置で荷電粒子ビームを検出し、上記複数のアパーチャを通過した荷電粒子ビームを走査して、一つのアパーチャを通過した荷電粒子ビームが上記検出手段で検出されてから次のアパーチャを通過した荷電粒子ビームが上記検出手段で検出されるまでの期間と、上記複数のアパーチャの離間距離と、各アパーチャの走査方向幅とから上記投影面上の荷電粒子の走査方向幅であるビームサイズを計算することを特徴とする荷電粒子露光方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G01T 1/29 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/305

FI (4件)：

H01L 21/30 541 M ,  G01T 1/29 A ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/305 B