特許

J-GLOBAL ID：200903039676511791

窒化ケイ素焼結体とその製造方法

発明者： 山田 俊行
出願人/特許権者： 株式会社いすゞセラミックス研究所
代理人 (1件)： 山本 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269487
公開番号（公開出願番号）：特開平9-087036
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】【課題】 高強度の表面を有する窒化ケイ素焼結体を得る。【解決手段】 窒化ケイ素を主成分とし、アルミニウム(Al),イツトリウム(Y ),タンタル(Ta)の酸化物または窒化物の少なくとも1種を含む粉末から成形体を成形し、成形体を焼結する。成形体の表面をケイ素粉末により被覆し、窒素を含有する雰囲気中で焼成する。窒化ケイ素焼結体の表面近傍部、つまり表面から深さが0〜500μmの表層部に含まれるアルミニウム成分の含有率εA に対する、表面から深さが500〜1000μmの内層部に含まれるアルミニウム成分の含有率εB の割合(εA/εB) を1.5以下にする。

請求項（抜粋）：

窒化ケイ素を主成分とし、アルミニウム(Al),イツトリウム(Y ),鉄(Fe),タンタル(Ta)の酸化物または窒化物の少なくとも1種を含む窒化ケイ素焼結体であつて、窒化ケイ素焼結体の表面からの深さ0〜500μmの層に含まれるアルミニウム成分の含有率εA に対する窒化ケイ素焼結体の表面から深さ500〜1000μmの層に含まれるアルミニウム成分の含有率εB の割合εA/εBが1.5以下であることを特徴とする窒化ケイ素焼結体。