特許
J-GLOBAL ID：200903039683210055
分子線発生用試料導入装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-205951
公開番号（公開出願番号）：特開平6-323993
出願日： 1992年07月08日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：
【要約】【目的】 外部から電気的に制御することができ、試料を高温に加熱することもでき、しかも断面が帯状に伸びた分子線として導入することができるようにする。【構成】 試料を噴出する円形の細孔をもつパルスノズル2と、円形断面のガス流を矩形断面のガス流に変換するインターフェース部4とからなる。パルスノズル2の内側には円錐状の先端をもつプランジャ8が移動可能に設けられ、細孔6を開閉する。インターフェース部4はスリット支持部22の中央にノズル2の細孔6と一致する円形の細孔25をもち、その支持部材22の表面には一対のスリット片23a,23bによってスリット24が形成されている。細孔6が開かれると、細孔6から出た試料ガスの流れはインターフェース部4のスリット24を通ることにより断面が円形から矩形に変換されて真空中にジェットとして噴出される。
請求項（抜粋）：
超音速分子ジェット分光装置の試料室内に試料を分子線として導入するための装置であって、前記試料室内に設置され試料を噴射するための円形の細孔を有する噴射弁と、前記噴射弁を開閉する開閉手段と、前記円形細孔に対向してスリットを有し、前記円形細孔から噴射された試料をそのスリットに導く空間を形成しているインターフェース部とを備えたことを特徴とする分子線発生用試料導入装置。
IPC (2件)：
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