特許
J-GLOBAL ID：200903039688975920
粒子分布測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-231688
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082382
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 金属配線パターン3を具えた透明基板1上に散布されたスペーサ2と、前記金属配線パターン3と前記スペーサ2とを映像上で切り分け、粒子分布を正確に観察計測し得る粒子分布測定装置を提供する。【構成】 スペーサ2を上面に散布され、金属配線パターン3を具えた基板1の上方には、前記基板上面に斜めに光を投射するリングファイバ照明装置5を、基板1下方には基板下面に垂直な光を投射する面照明装置4をそれぞれ設けて、リングファイバ照明装置5による照明を面照明装置4の照明よりも強くして、金属配線パターン3とスペーサ2とが映像上で容易に切り分けられるようにした。
請求項（抜粋）：
画像処理によって粒子分布を計測する装置において、計測対象の基板下方には、上記基板下面に対して垂直な光を投射する第1の照明装置を、前記基板上方には基板上面に対して傾斜した光を投射する第2の照明装置をそれぞれ設け、前記第1の照明装置による照明よりも前記第2の照明装置による照明が強くなるようにしたことを特徴とする粒子分布測定装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1339 500
