光部品の清掃方法およびそれを用いた光部品清掃装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-327810
公開番号（公開出願番号）：特開2004-126492
出願日： 2002年11月12日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】光部品の光透過面に傷をつけることなく、該光透過面の汚染物および光透過面から分解放出されて浮遊する微粒子および炭酸ガスに溶解した不純物を迅速に除去することができる。【解決手段】光部品の光透過面の清掃方法であって、炭酸ガスを噴射させて生成した微粉状のドライアイスを前記光透過面およびその近傍のみに吹き付ける。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光部品の光透過面の清掃方法であって、炭酸ガスを噴射させて生成した微粉状のドライアイスを前記光部品の光透過面およびその近傍のみに吹き付けることにより、清掃することを特徴とする光部品の清掃方法。

IPC (3件)：

G02B6/36 , B08B3/10 , B08B7/00

FI (3件)：

G02B6/36 , B08B3/10 Z , B08B7/00

Fターム (12件)：

2H036QA31 , 3B116AA03 , 3B116AA46 , 3B116AB23 , 3B116BA06 , 3B116BB82 , 3B201AA03 , 3B201AA07 , 3B201AA46 , 3B201AB23 , 3B201BA06 , 3B201BB82

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-291726
特開平2-125210
特開昭60-256103

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