特許

J-GLOBAL ID：200903039699471835

アルコキシドを原料にした薄膜形成方法

発明者： 小貫 英雄 ,  粟津 浩一
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-274818
公開番号（公開出願番号）：特開平9-169547
出願日： 1996年10月17日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：

【要約】【課題】 アルコキシドを原料とした薄膜形成において、従来と異なった反応機構により高品質の薄膜を確実に得ることのできる方法を提供する。【解決手段】 基板上に原料アルコキシド非水系溶液を塗布すると同時に原料を粘性化させる工程と、前記粘性化原料塗膜を光誘起反応により薄膜化する工程とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に原料アルコキシド非水系溶液を塗布すると同時に原料を粘性化させる塗膜粘性化工程と、前記工程で得られた粘性化原料塗膜を光誘起反応により薄膜化する塗膜薄膜化工程とを有することを特徴とするアルコキシドを原料にした薄膜形成方法。

IPC (3件)：

C03C 17/30 ,  B01J 19/12 ,  C01B 33/12

FI (4件)：

C03C 17/30 A ,  B01J 19/12 D ,  B01J 19/12 G ,  C01B 33/12 C