サーマルインクジェットプリントヘッドのインク射出領域を作製する方法及びサーマルインクジェットプリントヘッド

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：中島淳 , 加藤和詳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-187626
公開番号（公開出願番号）：特開2006-015746
出願日： 2005年06月28日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：

【課題】サーマルインクジェットプリントヘッドのインク射出領域を作製する方法とサーマルインクジェットプリントヘッドを提供すること。【解決手段】サーマルプリントヘッド100は、チャネルの一端をブロックする薄壁140とこのチャネルの反対端に配置されるマニホールド150への開口とを有する、チャネル130を生成するためにリソグラフィックに形成される壁120を含み、アクチュエータ160は、マニホールド150の入口からチャネル130の閉端までのチャネル130内に配置され、ポリマー層の上下の二つの基板をダイシングすることによって、薄壁140が外部環境へ露出され、チャネル130が残渣や他の汚れから保護され、薄壁140にレーザーアブレーションによりノズルを形成することによって、ダイシングライン170を薄壁140に対して接離させる際でも、流体の長さを一定に保つことができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

サーマルインクジェットプリントヘッドのインク射出領域を作製する方法であって、 a)壁をリソグラフィックに作製し、チャネルと、流体マニホールド領域からチャネルまでの入口と、該チャネルの一端の近くに更なる薄壁と、を形成するステップと、 b)二つの基板がポリマー壁に略垂直に略並列の壁を形成するステップと、 c)ポリマー薄壁が前記チャネルからの出口を覆うステップと、 d)前記チャネルと該チャネルを閉じる前記薄壁を損なうことなく、前記チャネル軸に垂直な前記二つの基板をダイシングするステップと、 e)レーザーアブレーションによって前記薄膜ポリマー端部から前記チャネルにかけてチャネルのいくつか又は全てに対してノズルが形成されるステップと、を含む、方法。

IPC (1件)：

B41J 2/16

FI (1件)：

B41J3/04 103H

Fターム (9件)：

2C057AF43 , 2C057AF93 , 2C057AG83 , 2C057AP22 , 2C057AP23 , 2C057AP47 , 2C057AP60 , 2C057BA03 , 2C057BA13

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許第6,139,674号(マーカム特許)

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