特許

J-GLOBAL ID：200903039710605792

干渉計

発明者： カウピネン,イルキ
出願人/特許権者： カウピネン,イルキ
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-512349
公開番号（公開出願番号）：特表平10-507262
出願日： 1995年09月15日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】本発明は、ビームスプリッタ(10)と、ビーム(S1、S2)を再帰反射するための鏡(11)と、ビーム(S1、S2)を反射するための2個の平面鏡からなる少なくとも一対の鏡(12、13)とを具備した干渉計に関する。対の鏡(12、13)は、軸(A)の周りで回転するように配置された剛性構造体(15)に取付けられる。ビームスプリッタ(10)が、マウントに支持された本体(20)に取付けられ、軸(A)が本体(20)を通って延びることを特徴とする。推奨される実施形態によれば、再帰反射鏡(11)も本体(20)に取付けられる。

請求項（抜粋）：

ビームスプリッタ(10)と、ビーム(S1、S2)を再帰反射するための鏡(11)と、該ビーム(S1、S2)を反射するための2個の平面鏡からなる少なくとも一対の鏡(12、13)とを具備し、該対の鏡(12、13)が、軸(A)の周りで回転するように配置された剛性構造体(15)に取付けられてなる干渉計において、前記ビームスプリッタ(10)が、マウントに支持された本体(20)に取付けられ、前記軸(A)が該本体(20)を通って延びることを特徴とする干渉計。

IPC (3件)：

G01B 9/02 ,  G01J 3/45 ,  G01J 9/02

FI (3件)：

G01B 9/02 ,  G01J 3/45 ,  G01J 9/02