特許
J-GLOBAL ID：200903039711230946
差圧測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-094151
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288624
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】 シンプル、小型安価高性能な差圧測定装置を提供する。【構成】 シリコン基板にダイアフラムを形成する薄膜状の第1隙間と、シリコン基板に設けられ第1隙間に一端が連通する第1連通孔と、ダイアフラムの第1隙間が設けられた面の反対側の面に設けられた薄膜状の凹部と、シリコン基板に設けられ凹部と連通し第1連通孔の個所を除いてダイアフラムをリング状に囲む第2隙間と、ダイアフラムの凹部側に設けられた歪検出素子と、シリコン基板の凹部が設けられた面に一面が接続され凹部と第2隙間と室を構成する支持基板と、シリコン基板の支持基板との接合面に不純物が混入されて形成され歪検出素子に一端が接続され導体からなるリードと、支持基板のシリコン基板との接合面側に設けられリードに一端が接続される電極とを具備したことを特徴とする差圧測定装置である。
請求項（抜粋）：
差圧を検出する差圧測定装置において、シリコン基板にダイアフラムを形成する薄膜状の第1隙間と、前記シリコン基板に設けられ該第1隙間に一端が連通する第1連通孔と、前記ダイアフラムの前記第1隙間が設けられた面の反対側の面に設けられた薄膜状の凹部と、前記シリコン基板に設けられ該凹部と連通し前記第1連通孔の個所を除いて前記ダイアフラムをリング状に囲む第2隙間と、前記ダイアフラムの前記凹部側に設けられた歪検出素子と、前記シリコン基板の前記凹部が設けられた面に一面が接続され該凹部と前記第2隙間と室を構成する支持基板と、前記シリコン基板の該支持基板との接合面に不純物が混入されて形成され前記歪検出素子に一端が接続され導体からなるリードと、前記支持基板の前記シリコン基板との接合面側に設けられ該リードに一端が接続される電極とを具備したことを特徴とする差圧測定装置。
IPC (2件)：
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