特許
J-GLOBAL ID：200903039715044438
放射線感応性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-017588
公開番号（公開出願番号）：特開平5-216237
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 高感度かつ高いO2 -RIE耐性を有する新規な放射線感応性樹脂組成物を提供すること。【構成】 ポリ(ジ-t-ブトキシシロキサン)0.5gと、酸発生剤としてのトリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート50mgと、溶剤としての2-メトキシ酢酸エチル4mlとを混合して放射線感応性樹脂組成物を構成する。
請求項（抜粋）：
単量体単位毎にC-O-Si結合を有する線状のポリ(シロキサン)と、放射線の作用により分解して酸を発生する酸発生剤とを含むことを特徴とする放射線感応性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/075 511
, G03F 7/004 503
, G03F 7/028
, G03F 7/038 505
, H01L 21/027
