特許
J-GLOBAL ID：200903039715705957
異物検出感度校正標準ウエハ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-266910
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120404
出願日： 1993年10月26日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 疑以異物部の識判性が高い異物検出感度校正標準ウエハの提供。【構成】 異物検出感度校正標準ウエハ(校正ウエハ)1においては、シリコン基板6の表面に直接またはLSIパターン5上に凸型形状の疑以異物部3(凸型疑以異物部7)が複数整列形成されている。整列配置により、異物検出装置による検出時、検出したものが、疑以異物部3か異物やLSIパターンによるものかの識別が適格となる。凸型疑以異物部7の散乱光強度を、下地回路パターンの散乱光強度より明瞭に大きくなるように形状を設定して検出散乱光量を多くし、疑以異物部3の識別を確実に行う。疑以異物部3の大きさは列毎に順次小さくなり、検出列から異物検出装置の感度の良否,感度が特定できる。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハの表面に疑以異物部を複数整列形成してなる異物検出感度校正標準ウエハであって、前記各疑以異物部は凸型構造となっていることを特徴とする異物検出感度校正標準ウエハ。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01N 21/00
, G01N 21/01
, H01L 21/66
