特許

J-GLOBAL ID：200903039726067286

剥離装置及びレジスト膜の剥離方法

発明者： 鈴木 聡 ,  福地 毅
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-367488
公開番号（公開出願番号）：特開2002-169304
出願日： 2000年12月01日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】液晶表示パネルやプラズマ表示パネル等に用いるガラス基板等の表面に形成されたレジスト膜を剥離するための剥離装置又は剥離方法において、剥離液の使用量を低減することにある。また、スループットの向上を図ることにある。【解決手段】基板Wに付着したレジスト膜を剥離する剥離装置1であって、剥離液を貯留する蒸気発生槽本体5と、剥離液を加熱して蒸気の状態にする加熱源6と、この蒸気(剥離液)を処理槽本体2に送り込むポンプ7と、ポンプ7によって送られた蒸気を処理槽本体2の内部に支持された基板Wに供給するノズル10とを備える。さらに剥離装置(剥離部)1は、基板Wに剥離液を噴射して残渣を取り除く残渣処理手段20を備える。

請求項（抜粋）：

基板に付着したレジスト膜を剥離する剥離装置であって、内部に前記基板を配置可能な処理槽本体と、前記処理槽本体に設けられ、前記基板を支持するための支持手段と、前記支持手段に支持された基板に、剥離液を蒸気の状態で供給する蒸気供給手段と、を備える剥離装置。

IPC (3件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/30 572 B ,  H01L 21/306 D

Fターム (11件)：

2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096LA02 ,  2H096LA03 ,  5F043BB27 ,  5F043CC12 ,  5F043DD06 ,  5F043DD07 ,  5F043EE07 ,  5F046MA03 ,  5F046MA10