特許
J-GLOBAL ID：200903039735185771
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-315762
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151557
出願日： 1992年10月29日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 基板の側端面と接触させずに基板を搬送できるようにしてパーティクルの発生および基板の位置ずれ発生のいずれをも無くす。【構成】 角型基板Wの下方位置で角型基板Wの外周縁側の裏面においてのみ接触支持する支持部8aと、その支持部8aを、鉛直方向視で角型基板Wに重複する基板の下方の基板支持位置と、それよりも水平方向に外れた基板非支持位置とに変位する支持部駆動機構とから基板支持具を構成し、角型基板Wを、その周端面に接触せずに搬送できるようにする。
請求項（抜粋）：
基板の適所を支持する基板支持具と、前記基板支持具を移動する搬送機構とを備えた基板搬送装置において、前記基板支持具を、前記基板の下方位置で前記基板の外周縁側の裏面においてのみ接触支持する支持部と、前記支持部を、鉛直方向視で前記基板に重複する前記基板の下方の基板支持位置と、それよりも水平方向に外れた基板非支持位置とに変位する支持部駆動機構と、から構成したことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H05K 13/02
