有機及び無機パシベーション層からなる画像センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-514877
公開番号（公開出願番号）：特表平10-511817
出願日： 1996年10月10日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】画像センサは、基板(1)上のスイッチング素子(30)からなる。絶縁分離層(9)は、スイッチング素子の上に配置され、そのため絶縁分離層(9)の上に配置された光ダイオード装置(20a)は、スイッチング素子(30)と重なり、画像センサの最大領域を占めうる。障壁層(10)は、絶縁分離層(9)と光ダイオード装置(20a)との間に挟まれ、時間の経過による光ダイオードの特徴の劣化を防ぐ。絶縁分離層(9)及び障壁層(10)は、夫々ポリイミド及び窒化ケイ素から作られることが望ましい。

請求項（抜粋）：

複数のスイッチング素子を担持する基板と、基板の上に配置され実質的にスイッチング素子を覆う絶縁分離層とからなり、感光性素子は夫々のスイッチング素子に関連し、各感光性素子は第1及び第2の電極からなり、各感光性素子の第1の電極は関連するスイッチング素子の第1の電極に結合される画像検出器であって、絶縁障壁層は絶縁分離層の上に配置され、感光性素子は絶縁障壁層の上に配置される画像検出器。

IPC (3件)：

H01L 27/146 , H01L 27/14 , H01L 31/02

FI (3件)：

H01L 27/14 E , H01L 31/02 A , H01L 27/14 D

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-373173
特開昭61-120586
特開昭61-120586

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