特許

J-GLOBAL ID：200903039737697923

プローブ装置及びそのメンテナンス用治具

発明者： 上西 隆雄
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金本 哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-289894
公開番号（公開出願番号）：特開平7-122601
出願日： 1993年10月25日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】 プローブ装置における中継基板上に搭載される電子部品回路を経由した電送特性を向上させるとともに、個々の電子部品回路の出力タイミングを同期化させ、正確で信頼性の高いプローブテストを可能にする。【構成】 検査回路を有するテストヘッド10と、ウエハW上の被検査体に接触させるプローブ針52とを回路的に中継させるリニアマザーボード30において、その中心部に開口穴を設けず、さらにこのリニアマザーボード30上に搭載される電子部品回路33、34を、環状に配置された端子31を挟んでその内外側に対向して配置する。【効果】 テストヘッドとプローブ針間の配線距離が従来よりも大幅に短縮できるので電送特性が向上し、しかも同時に各電子部品回路毎の配線距離を各々同一に設定できるので、その出力タイミングやインピーダンス特性を同一にできる。

請求項（抜粋）：

各種回路の電気的特性を検査する検査回路を有するテストヘッドと、コンタクタを有するプローブカードと、前記テストヘッドとプローブカードとの間に位置して前記テストヘッドと前記プローブカードのコンタクタとを電気的に接続する中継基板と、さらに前記検査の際に使用される電子部品回路をこの中継基板上に有し、前記プローブカードのコンタクタを、載置台上に載置された被検査体上の所定の電極パッドに接触させて、この被検査体上に形成された回路を前記テストヘッドによって検査する如く構成されたプローブ装置において、前記中継基板には実質的な開口穴が設けられておらず、かつ前記中継基板の上面略中央部に前記テストヘッドとの接触導通部が環状に配設され、前記電子部品回路は、前記各接触導通部を挟んで前記環状の各接触導通部の内外側に設けられていることを特徴とする、プローブ装置。