特許
J-GLOBAL ID：200903039741396156
エキシマレーザ分光型レーザホモジナイザー装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-207973
公開番号（公開出願番号）：特開平7-051878
出願日： 1993年08月23日
公開日（公表日）： 1995年02月28日
要約：
【要約】【目的】 エキシマレーザビームの不均一な空間ビームプロファイルを、機械光学的なホモジナイザー装置により均一化し、光化学加工におけるビーム加工領域の拡大による光子エネルギーの効率活用と加工精度の向上を図る。【構成】 エキシマレーザ発信器01のパルスと同期駆動するモータ1又は、アクチュエーターにより角度可変する反射ミラー2に照射されたエキシマレーザ光波は、設定された屈折角度に変位を繰り返し円筒レンズ3もしくは、非球面ウエッジ等を介し均一平行ビーム化されアパッチャー4からイメージングレンズ5に至り加工物にレーザビームは照射加工される。エキシマレーザ発信器01からの光波は、固定ハーフミラー02、可動ハーフミラー03、可動全反射ミラー04により分光とビームエネルギーの均一分布処理される。
請求項（抜粋）：
エキシマレーザ加工装置の光軸上にレーザ発信パルスと同期した可動反射ミラーを有することを特徴とするエキシマレーザ分光型レーザホモジナイザー装置。
IPC (3件)：
B23K 26/06
, B23K 26/00
, G02B 27/09
