特許
J-GLOBAL ID:200903039742543454
有機電界発光パネルの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
吉田 研二
, 石田 純
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-331418
公開番号(公開出願番号):特開2004-165068
出願日: 2002年11月14日
公開日(公表日): 2004年06月10日
要約:
【課題】パネルの端子を確実且つ装置品質高く露出させる。【解決手段】有機EL素子又はその駆動のためのTFTの形成時に形成した端子の上に、レーザ除去層として機能する有機絶縁材料、好ましくは有機ELパネル製造時に用いる有機絶縁材料を形成する。有機EL素子の形成後パネル基板全面を覆うように保護膜を形成し、保護膜で覆われた端子上の有機絶縁材料ならなる層に吸収されるレーザを照射し、この層にアブレーションを発生させて、この有機絶縁材料からなる層とその上の保護膜を同時に除去し、端子を露出させる。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
下部電極と上部電極との間に発光分子を含む有機層を備えた有機電界発光素子と、該有機電界発光素子を駆動するための外部接続用端子とを同一パネル基板上に備える有機電界発光パネルの製造方法であって、
前記外部接続用端子の形成領域を覆ってレーザ吸収材料からなるレーザ除去層を形成し、
前記レーザ除去層を形成した後に、前記有機電界発光素子及び前記レーザ除去層を覆って基板全面に保護膜を形成し、
前記レーザ除去層の形成された領域に向けて、前記レーザ吸収材料の吸収波長域のレーザを照射して前記レーザ除去層及びその上に形成されている前記保護膜を除去し、前記外部接続用端子の上面を露出させることを特徴とする有機電界発光パネルの製造方法。
IPC (3件):
H05B33/10
, H05B33/06
, H05B33/14
FI (3件):
H05B33/10
, H05B33/06
, H05B33/14 A
Fターム (5件):
3K007AB13
, 3K007AB18
, 3K007CC05
, 3K007DB03
, 3K007FA02
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