特許
J-GLOBAL ID：200903039748307361
マルチチャンバ半導体ウェハ処理システム内の優先順位に基づくウェハ処理スケジューリング方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-325112
公開番号（公開出願番号）：特開平10-189687
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】 マルチチャンバ半導体ウェハ処理システム(クラスタ・ツール)内におけるウェハ処理の優先順位に基づくスケジューリング装置及びその関連方法を提供すること。【解決手段】 シーケンサ136は、クラスタ・ツール100内のチャンバ104等に優先順位の値を割り当て、割り当てられた優先順位に従って、ウェハWをチャンバからチャンバへ移動する。シーケンサは、優先移動が行われるまでの時間の量を決定することができ、その時間が充分長ければ、シーケンサは待っている間に非優先移動を実行する。シーケンサはまた、ツール内のチャンバの利用可能性によって、割り当てられた優先順位を動的に変更する。最後に、シーケンサは、ロボットが特定のステージのウェハを移動するために必要な最小限の時間に基づいて、チャンバの優先順位を決定する。
請求項（抜粋）：
複数のチャンバを有するマルチチャンバ半導体ウェハ処理システム内における半導体ウェハの処理スケジューリング方法であって、前記複数のチャンバの各チャンバに優先順位を割り当てるステップと、最も高い優先順位を有するチャンバを選択するステップと、選択されたチャンバに割り当てられた優先順位に従って、選択されたチャンバからウェハをターゲット・チャンバに移動するステップと、を備える半導体ウェハの処理スケジューリング方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/02 Z
