微小突起除去装置及びカラーフィルタ補修装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-102813
公開番号（公開出願番号）：特開平6-313871
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：

【要約】【目的】研磨ヘッドの被補修体表面に対する最終研磨位置を高精度に規制でき、微小な突起欠陥を高精度に除去できる突起欠陥除去装置並びにカラーフィルタ補修装置を提供する。【構成】微小突起が存在する被補修体(3) をステージ(2) 上に載置し、このステージの上方に研磨装置本体(40)を配置する。研磨装置本体は、微小突起を研削により除去する研磨装置(43, 44, 45, 46)とハウジング(42)とを具え、ハウジングの開口(42a)から研磨ヘッド(47)が突出するように研磨装置をハウジング内に収納支持する。前記ハウジングの内部空間と連通し前記開口から空気流を吸引する空気流発生源(69)を設ける。開口を通る空気流の圧力は、開口と被補修体表面との間の相対距離で定まり、この空気流の圧力により研磨装置の被補修体表面に対する最終位置を規制する。このように構成することにより、被補修体に波打ち等があっても研磨ヘッドの被補修体に対する最終位置を高精度に規制することができると共に、研磨中に生ずる切削源を容易に除去することもできる。

請求項（抜粋）：

被補修体を載置するステージと、被補修体の表面に存在する微小突起を研削により除去する研磨機と、開口を有し、前記研磨機をその研磨ヘッドが前記開口から突出するように収納支持するハウジングとを具える研磨装置本体と、この研磨装置本体と前記ステージ上に載置されている被補修体との間の相対距離を調整する昇降機構と、前記研磨装置本体のハウジングの内部空間と連通し、前記ハウジングの開口から空気流を吸引する空気流発生源と、前記開口と被補修体表面との間の距離に応じて変化する前記空気流の圧力を検出する圧力検出装置と、前記昇降機構を駆動する駆動装置とを具え、前記被補修体の突起を除去する際、研磨装置本体又は被補修体のいずれか一方を互いに近づくように移動させ、被補修体表面に対する研磨装置本体の最終位置を前記圧力検出装置からの出力に基いて決定することを特徴とする微小突起除去装置。

IPC (3件)：

G02F 1/13 101 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-280802
特開平4-201050
特開平4-303751

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