オゾンビーム発生装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下実三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-266050
公開番号（公開出願番号）：特開平6-115906
出願日： 1992年10月05日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：

【要約】【目的】オゾンを所望の装置に連続して供給できるオゾンビーム発生装置を提供すること。【構成】オゾンガス発生排気装置1からオゾン含有ガスをオゾンチャンバー27のオゾン液化室37内に導入するオゾン含有ガス導入管42と、酸素等を排気する排気管43と、オゾンガスを酸化処理槽12に排出するオゾン排出管44とをオゾンチャンバー27に取付ける。オゾン排出管44の下端開口を液化室37内の液化オゾン内に配置して排出管44内と液化室37とを液化オゾンで遮断する。排出管44内は飽和蒸気圧以下の低圧なのでオゾンは順次ガス化され酸化処理槽12に連続的に供給される。

請求項（抜粋）：

酸素を含有するガスをオゾン化してオゾンを発生させるオゾンビーム発生装置であって、液化されたオゾンを貯留するオゾンチャンバーに、オゾン含有ガスをチャンバー内に導入するオゾン含有ガス導入路と、下端開口が前記チャンバー内の液化されたオゾン内に配置されかつ上端開口は所望の装置に連通されたオゾン排出路と、チャンバー内のガスを排気する排気手段に接続された排気路とが設けられていることを特徴とするオゾンビーム発生装置。

IPC (2件)：

C01B 13/10 , B01J 4/00 102

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭60-127205
特開平1-257103
特開平4-087245

審査官引用 (3件)

特開昭60-127205
特開平1-257103
特開平4-087245

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