特許
J-GLOBAL ID：200903039752079497
物体の形状および位置の測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-218998
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052519
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：
【要約】【目的】 マッチドフィルタ法による形状、位置測定を改良する。【構成】 複数の測定物体を1つの光束中に互いに離して特定された位置に配置し、それぞれの測定物体のフーリエ変換像の間に位置による位相差を発生させながら、これら測定物体のフーリエ変換像を同時に形成したマッチドフィルタを用い、これら測定物体と被測定物体との相関を求める物体の形状および位置の測定装置において、複数の測定物体が形成する参照領域を、測定視界中の個々の被測定物体が形成する領域の最小値よりも小さくしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
複数の測定物体を1つの光束中に互いに離して特定された位置に配置し、それぞれの前記測定物体のフーリエ変換像の間に位置による位相差を発生させながら、これら測定物体のフーリエ変換像を同時に形成したマッチドフィルタを用い、これら測定物体と被測定物体との相関を求める物体の形状および位置の測定装置において、前記複数の測定物体が形成する参照領域を、測定視界中の個々の前記被測定物体が形成する領域の最小値よりも小さくしたことを特徴とする物体の形状および位置の測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01B 11/24
, G06F 15/70 460
