特許
J-GLOBAL ID：200903039753024238
硬基板のベーク装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 文雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-226102
公開番号（公開出願番号）：特開平9-053881
出願日： 1995年08月11日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】【課題】 硬基板を一定温度に加熱する硬基板のベーク装置において、加熱温度分布を均一化させて製品の品質向上を可能にし、ベーク条件の変更に簡単に対応できるようにする。【解決手段】 硬基板の両縁部に下方から転接して硬基板を一定方向へ連続搬送するローラ搬送手段と、ローラ搬送手段により搬送される硬基板を下方から加熱するホットプレートと、ホットプレートの上面に回転可能に設けられ硬基板の下面に転接して硬基板とホットプレート上面との間隔を一定に保持するコロ部材とを備える。ここにホットプレートは、硬基板と略同一幅の金属製厚板の下面に板状発熱体を取付けた構造とし、この厚板の上面に設けた凹部に金属製のコロ部材を装填したものが可能である。
請求項（抜粋）：
硬基板を一定温度に加熱する硬基板のベーク装置において、前記硬基板の両縁部に下方から転接して前記硬基板を一定方向へ連続搬送するローラ搬送手段と、前記ローラ搬送手段により搬送される硬基板を下方から加熱するホットプレートと、前記ホットプレートの上面に回転可能に設けられ前記硬基板の下面に転接して硬基板とホットプレート上面との間隔を一定に保持するコロ部材とを備えることを特徴とする硬基板のベーク装置。
IPC (5件)：
F26B 15/12
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, G03F 7/40 501
, H01L 21/027
F26B 15/12 E
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, G03F 7/40 501
, H01L 21/30 566
