特許
J-GLOBAL ID:200903039755047570

液滴吐出ヘッドの駆動装置、製膜装置、液滴吐出ヘッドの駆動方法、製膜方法及び電子機器並びにデバイスの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  実広 信哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-072336
公開番号(公開出願番号):特開2004-122744
出願日: 2003年03月17日
公開日(公表日): 2004年04月22日
要約:
【課題】圧電振動子の劣化を抑制して、長期にわたって液滴吐出ヘッドから安定した液滴の吐出を可能にする。【解決手段】所定の駆動波形により伸縮する圧電振動子20と、駆動制御手段としての駆動制御回路10と、駆動波形生成回路30とから構成され、駆動制御回路10が、駆動波形生成回路30により生成される波形に基づいてシャープエッジのない曲線波形からなる駆動波形を生成し、圧電振動子20を駆動する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
圧電素子を有し、所定の駆動波形を前記圧電振動子に加えて吐出部から液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドの駆動装置において、 前記圧電振動子を曲線形状からなる駆動波形により駆動する駆動制御手段を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッドの駆動装置。
IPC (5件):
B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  G02B5/20 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (4件):
B41J3/04 103A ,  G02B5/20 101 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (12件):
2C057AF65 ,  2C057AJ10 ,  2C057AM16 ,  2C057AN07 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB42 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01
引用特許:
審査官引用 (1件)

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