カンチレバー型機器用完全デジタル式コントローラ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人プロスペック特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-561466
公開番号（公開出願番号）：特表2006-510891
出願日： 2003年12月18日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：

原子間力顕微鏡、分子力プローブ機器、高分解能プロファイルメータ、および化学的または生物学的検出プローブを含むカンチレバー型機器用のコントローラ。本コントローラは、これら機器におけるカンチレバーの撓みを検出するために広く用いられる光検出器の出力を、高速アナログ/デジタル変換器(ADC)により収集する。次いで、得られた出力信号のデジタル表現を、フィールドプログラマブルゲートアレイおよびデジタル信号プロセッサにより、アナログ電子回路を用いずに処理する。アナログ信号処理は本質的にノイズが多いが、デジタル計算は、計測信号にいかなるランダムノイズも加えることがないという点で、本質的に「完全」である。フィールドプログラマブルゲートアレイおよびデジタル信号処理による処理は、コントローラのハードウエアを修正しなくてもプログラム手段により変更できるので、コントローラのフレキシビリティが最大化される。

請求項（抜粋）：

カンチレバーの撓みを検出するための位置検出器、および前記カンチレバーの基部の垂直方向位置を修正するための手段を有する原子間力顕微鏡用のコントローラであって: 前記原子間力顕微鏡の前記位置検出器の出力と、前記カンチレバー基部の垂直方向位置を修正するための前記手段との間に接続されるフィードバック回路と; デジタル信号プロセッサから受信した信号を含む、前記原子間力顕微鏡の前記位置検出器、および/または他の構成体からのデータを処理するようにプログラムされるフィールドプログラマブルゲートアレイと; 前記フィールドプログラマブルゲートアレイから受信した信号を含む、前記原子間力顕微鏡の前記位置検出器、および/または他の構成体からのデータを処理するようにプログラムされるデジタル信号プロセッサと; を備えるコントローラ。

IPC (3件)：

G01N 13/10 , G01B 21/30 , G01N 13/16

FI (3件)：

G01N13/10 F , G01B21/30 , G01N13/16 C

Fターム (11件)：

2F069AA60 , 2F069AA68 , 2F069BB40 , 2F069EE04 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG19 , 2F069GG20 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069NN08

引用特許：

審査官引用 (1件)

任意波形発生器
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-047109 出願人：アジレント・テクノロジー株式会社

引用文献：

審査官引用 (3件)

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