特許
J-GLOBAL ID：200903039756060200
半導体処理用真空チャンバ及び載置台装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-162839
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016979
出願日： 1997年06月19日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】真空チャンバの内外空間の差圧に起因する付勢力による可動部材の暴走やその自重による暴走を防止する。【解決手段】真空処理チャンバ3内には上下動可能に載置台5が配設される。載置台5に駆動力を伝達するためのボールネジ機構80と平行にリードネジ機構86が配設される。ボールネジ機構80及びリードネジ機構86はベルト95を介してモータ96により駆動され、同じ送り量を付与される。リードネジ機構86のシャフト87にストッパ91、92が配設される。ストッパ91は、ベルト95が破壊し、処理チャンバ3の内外空間の差圧に起因する付勢力により載置台5が上昇する際、載置台5と当接してその暴走を阻止する。ストッパ92は、ベルト95が破壊し、自重により載置台5が落下する際、載置台5と当接してその暴走を阻止する
請求項（抜粋）：
減圧雰囲気に設定される第1空間を形成すると共に、前記第1空間よりも高い圧力を有する第2空間から前記第1空間を隔離するためのケーシングと、前記ケーシングと協働して前記第1空間を気密に保持すると共に、前記ケーシングに対して相対的に移動可能に取付けられた可動部材と、前記ケーシングに対して前記可動部材を移動するための駆動力を伝達するように、前記ケーシングと前記可動部材とを接続する、ボールネジシャフト及びボールネジナットを有するボールネジ機構と、前記ボールネジシャフトに対して並設され且つ前記ボールネジシャフトと平行な軸を有するリードネジシャフト及び、前記ケーシングに対して枢支され且つ前記リードネジシャフトに螺合するリードネジナットを有するリードネジ機構と、前記ボールネジ機構及び前記リードネジ機構に対して動力を付与するための共通の駆動機構と、前記駆動機構により前記ボールネジシャフト及び前記リードネジシャフトは実質的に同じ送り量を付与されることと、前記リードネジシャフトに配設されたストッパと、前記ストッパは、前記駆動機構が破壊され、前記第1及び第2空間の間の差圧に起因する付勢力により、前記可動部材が前記リードネジシャフトに対して相対的に前記第1空間側に移動する際、前記可動部材若しくはこれと一体的に移動する部材と当接し、前記可動部材の暴走を防止するように配置されることと、を具備することを特徴とする半導体処理用真空チャンバ。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, C23C 14/24
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
H01L 21/68 A
, C23C 14/24 J
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
