特許

J-GLOBAL ID：200903039765711788

変位変換器

発明者： 山本 俊広
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-227547
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066168
出願日： 1991年09月09日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】圧力差によるダイヤフラムの微小変位をダイヤフラムと固定電極間のキャパシタンスCA,CBの差動変化として検出する変位変換器では、CA,CBを充放電し、CA,CBに比例した時間TA,TBを計測して前記の差動変化を求めるが、従来はTA,TBの計測へのキャパシタンス放電時間の介入やTA,TBの測定の非同時性の為、高精度計測ができぬことを改善する。【構成】センサキャパシタCA,CBの所定電圧までの充電を夫々インバータ11,12で検出し単安定マルチ13,14にてRSF-F15のセット,リセットを行い、かつ該F-Fの出力でCA,CBの放電トランジスタ18,19をオン,オフさせることでCA,CBの各充電時間TA,TBが交互に連なる発振をさせ、この発振中に時間測定・演算回路2A内のアップダウンカウンタでTA-TBを、アップカウンタでTA+TBを同時に求め前記差動変化を演算する。

請求項（抜粋）：

圧力差によるダイヤフラムの微小変位を、このダイヤフラムと該ダイヤフラムに対向して配置された一対の固定電極の夫々との間のキャパシタンスとしての第1,第2のキャパシタンスの差動的変化として検出する変位変換器であって、前記2つのキャパシタンスに夫々所定の回路条件を維持したまま直流の充電電流を供給する充電手段、放電指令に基づいて前記第1,第2のキャパシタンスの両端を夫々短絡する第1,第2の放電手段、前記充電電流の供給に基づいて前記第1,第2のキャパシタンスの両端電圧が夫々所定値となったことを検出する第1,第2の電圧検出手段を備えた変位変換器において、前記第1の電圧検出手段の前記検出に基づいて前記第1の放電手段に前記放電指令を与えると共に、前記第2の放電手段に与えていた前記放電指令を解除し、前記第2の電圧検出手段の前記検出に基づいて前記第2の放電手段に前記放電指令を与えると共に前記第1の放電手段に与えていた前記放電指令を解除する動作を繰返し行わせる充放電制御手段と、前記充放電制御手段に基づく前記動作の所定回数の繰返し期間から前記2つのキャパシタンスの差動的変化を求めるための時間を抽出する手段とを備えたことを特徴とする変位変換器。