特許

J-GLOBAL ID：200903039768068258

耐摩耗性の優れた表面改質層の形成方法

発明者： 佐藤 廣士 ,  杉崎 康昭 ,  安永 龍哉
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-290531
公開番号（公開出願番号）：特開平5-098438
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：

【要約】【目的】 B+ イオン注入による表面改質層を厚く形成することによって、金属材料の耐摩耗性を飛躍的に向上させる表面改質層の形成方法を提供する。【構成】 イオン注入処理を施すことによって金属材料表面に耐摩耗性の優れた表面改質層を形成する方法であって、前記金属材料表面にスパッタ法によりTiB2 薄膜を予め形成しておき、その後B+ イオン注入を行うことによって、TiB2 薄膜における前記金属材料へのB放出効果を利用してTiB2 薄膜中のBを金属材料表面へ拡散浸透させる様にした。

請求項（抜粋）：

イオン注入処理を施すことによって金属材料表面に耐摩耗性の優れた表面改質層を形成する方法であって、前記金属材料表面にスパッタ法によりTiB2 薄膜を予め形成しておき、その後B+ イオン注入を行うこよによって、前記TiB2 薄膜における前記金属材料へのB放出効果を利用してTiB2薄膜中のBを金属材料表面へ拡散浸透させる様にしたことを特徴とする耐摩耗性の優れた表面改質層の形成方法。

IPC (4件)：

C23C 14/48 ,  C23C 8/36 ,  C23C 8/68 ,  C23C 14/06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-174372
  
• 特開昭62-060857