特許

J-GLOBAL ID：200903039769404804

自立膜測定装置及び測定方法、並びに走査型プローブ顕微鏡

発明者： 杉崎 克己
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-078088
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271344
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】 このように、既存の検査方法では、空間分解能が十分ではなく、より分解能が高く、自立薄膜に適用するのに適した検査方法が望まれている。【解決手段】 上述の課題を解決するために、本発明では、先端に鋭い探針(1a)を持つカンチレバー(1)と、カンチレバーの先端の変位を検出する変位検出手段(2,3)と、少なくとも一部が自立膜を有した試料(11)と探針との相対的な関係を変化させる可変手段(6,7)と、被検査物及び探針間の相対関係の変化と共に変化する変位検出手段からの信号に基づき、試料の機械的特性を取得する検出部(8,9)とを備えた。

請求項（抜粋）：

先端に鋭い探針を持つカンチレバーと、前記カンチレバーの先端の変位を検出する変位検出手段と、少なくとも一部が自立膜を有した試料と前記探針との相対的な関係を変化させる可変手段と、前記被検査物及び前記探針間の相対関係の変化と共に変化する前記変位検出手段からの信号に基づき、前記試料の機械的特性を取得する検出部とを備えたことを特徴とする自立膜測定装置。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 X