特許
J-GLOBAL ID:200903039769515487

四重極電極

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小松 秀岳 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-231658
公開番号(公開出願番号):特開平5-074411
出願日: 1991年09月11日
公開日(公表日): 1993年03月26日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、質量分析計等に用いる四重極電極の改良に関する。【構成】 対向する面の断面を双曲線状に又は円形状に形成した2対の電極棒1、2、3、4からなる四重極電極であって、電極棒がセラミックスからなり、電極表面が導電性金属の被覆層5で被覆されたものであるもの。【効果】 電極棒を正確な寸法に成形することが容易なセラミックスをもって形成してあるので、組み立て時に電極間位置調整のために多大の努力を必要とすることがなく、再現性よく高性能の四重極電極を提供することができる。
請求項(抜粋):
対向する2対の電極棒からなる四重極電極であって、電極棒が絶縁体のセラミックスからなり、電極表面が導電性金属で被覆された4本の電極が予め所定の寸法精度で固定されていることを特徴とする四重極電極。
IPC (2件):
H01J 49/42 ,  G01N 27/62
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開昭59-091651
  • 特開昭52-150092
  • 特公昭51-007069
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