特許
J-GLOBAL ID：200903039774668127
圧電素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-161834
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345668
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：
【要約】【課題】 3次の厚み縦高調波振動を励振する圧電素子において、熱的安定性に優れた高性能発振子の実現が可能な圧電素子を得る。【解決手段】 圧電素子10は、圧電体基板12を含む。圧電体基板12は、SrBi4 Ti4 O15を主成分とする圧電材料で形成する。圧電体基板12の両面に、振動電極14,16を形成する。振動電極14,16の間でこれらの電極が重なり合った領域に、エネルギ閉じ込め領域が形成される。振動電極14,16と平行なエネルギ閉じ込め領域内の直線をエネルギ閉じ込め領域の外周と交差する2つの点で切り取ったときの最大長さをLとし、素子の全厚みをtとしたとき、L/tの値を9未満となるように設定する。
請求項（抜粋）：
Sr,Bi,TiおよびOの元素を主成分として含む圧電材料からなる圧電体基板、および前記圧電体基板の両面において対向する少なくとも1対の振動電極を含み、前記圧電体基板の両面で対向する前記振動電極が重なり合った領域に形成されるエネルギ閉じ込め領域において3次の厚み縦高調波振動を励振する圧電素子であって、前記振動電極の面と平行な前記エネルギ閉じ込め領域内の直線を前記エネルギ閉じ込め領域の外周と交差する2つの点で切り取ったときの最大長さをLとし、対向する前記振動電極間の距離をtとしたとき、L/tの値が9未満であることを特徴とする、圧電素子。
IPC (4件)：
H03H 9/17
, C04B 35/46
, H01L 41/09
, H01L 41/187
H03H 9/17 A
, C04B 35/46 J
, H01L 41/08 C
, H01L 41/18 101 B
4G031AA05
, 4G031AA11
, 4G031AA35
, 4G031BA10
, 5J108BB05
, 5J108CC04
, 5J108CC13
, 5J108DD01
, 5J108DD06
, 5J108DD08
, 5J108FF04
