特許
J-GLOBAL ID：200903039777078010
高純度ラダーシリコーンポリマ溶液の製造法及び塗布液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-072635
公開番号（公開出願番号）：特開平6-287303
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：
【要約】【目的】 ラダーシリコーンポリマに含まれる金属イオンやハロゲンイオンなどの不純物を低減させ、半導体デバイスなどの信頼性を向上させる。【構成】 ラダーシリコーンポリマ溶液をイオン交換樹脂に接触させる高純度ラダーシリコーンポリマ溶液の製造法およびこのポリマを含む塗布液。
請求項（抜粋）：
ラダーシリコーンポリマ溶液をイオン交換樹脂に接触させることを特徴とする高純度ラダーシリコーンポリマ溶液の製造法。
IPC (3件)：
C08G 77/34 NUE
, C08L 83/04 LRR
, C09D183/04 PMV
