特許

J-GLOBAL ID：200903039778089610

FIBアシストデポジション装置のガス供給装置

発明者： 笠原 春生
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-118857
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315287
出願日： 1992年05月12日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】 ノズルから材料へ吹き出させるガスの量を制御することができるFIBアシストデポジション装置のガス供給装置を実現する。【構成】 図3の状態では、内側容器35はその一端36が開口38内部に挿入され、ノズル31へのガスの供給は停止される。内側容器35が移動させられ、容器35の一端が開口38から外されると、ノズルへのガスの供給が開始される。内側容器35をより右側に移動させ、端面40と41の形成するバルブの排気コンダクタンスを制御すれば、ノズル31から吹き出されるガスの量を調整することができる。駆動部34により、更に内側容器35を図中右側に移動させると、内側容器の他端の端面40と外側容器30の内側の端面41とが接触し、容器内部の排気動作は停止されることになり、ノズル31から試料に向け吹き出されるガスの量は最大となる。

請求項（抜粋）：

ノズルから有機金属ガスを材料に向けて吹き出させると共に、材料上でイオンビームにより所定のパターンを描画するようにしたFIBアシストデポジション装置のガス供給装置であって、加熱可能な第1の容器と、第1の容器の一端に設けられ、ノズルと連通した第1の開口と、第1の容器の他端に設けられ、排気系と連通した第2の開口と、第1の容器内に配置されその内部にガス化物質が入れられた第2の容器と、第1の容器の一方の端部内側と第2の容器の一端とが構成する第1のバルブ構造と、第1の容器の第2の開口部と第2の容器の他端が構成する第2のバルブ構造と、第2の容器を第1の容器内で第1の開口と第2の開口との間で移動させるための駆動手段とを有したFIBアシストデポジション装置のガス供給装置。

IPC (5件)：

H01L 21/285 ,  H01L 21/285 301 ,  C23C 16/48 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/268