特許
J-GLOBAL ID：200903039779569674
サーキュレータ、アイソレータ、それを用いたプラズマ処理装置と処理方法、並びにマイクロ波導波経路の切替え機とマイクロ波処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-029115
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229701
出願日： 2002年02月06日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：
【要約】【課題】 必要に応じて直流磁界の方向を変え、互いに交差した中心導体の間に生じる電流の方向を逆転させるスイッチングを可能にする。【解決手段】 サーキュレータは、同一平面内に互いに交差させて配置された複数部分からなる中心導体である導波管1に対し、該導波管1のある平面に垂直な方向から直流磁界をかけるものであって、該直流磁界の方向を逆転し、以って互いに交差した中心導体の間に生じる電流の方向を逆転させる磁界方向逆転手段として、該導波管1に対し動作6を行う磁石ケース3に取り付けられ磁界の方向が互いに逆の2対の永久磁石4,5を有する。
請求項（抜粋）：
同一平面内に互いに交差させて配置された複数の中心導体に対し、該中心導体のある平面に垂直な方向から直流磁界をかけてなるサーキュレータにおいて、該直流磁界の方向を逆転し、以って互いに交差した中心導体の間に生じる電流の方向を逆転させる磁界方向逆転手段を有することを特徴とするサーキュレータ。
IPC (4件)：
H01P 1/11
, H01P 1/36
, H01P 1/39
, H05H 1/46
H01P 1/11 Z
, H01P 1/11 A
, H01P 1/36 A
, H01P 1/39
, H05H 1/46 B
