特許

J-GLOBAL ID：200903039786257920

クラスタ装置

発明者： 宮嶋 良政 ,  白井 秀信
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-289767
公開番号（公開出願番号）：特開平6-140492
出願日： 1992年10月28日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】 チャンバ内に位置合わせ装置を具備するクラスタ装置に関し、搬送時間自体を短縮することが可能で、かつ位置合わせ時間をも短縮することが可能となるクラスタ装置の提供を目的とする。【構成】 壁面に複数の処理装置4a,4b,4c,4d,4eが接続されているチャンバ1と、この処理装置4a,4b,4c,4d,4eにおいて処理する処理物を搬送することが可能な、このチャンバ1内に設けられている搬送アーム2と、この処理装置4a,4b,4c,4d,4eにおいて載置する位置に、この処理物の位置合わせをすることが可能な、このチャンバ1内に設けられている複数の位置合わせ装置3a,3b,3c,3d,3eとを具備するように構成する。

請求項（抜粋）：

壁面に複数の処理装置(4a,4b,4c,4d,4e)が接続されているチャンバ(1) と、前記処理装置(4a,4b,4c,4d,4e)において処理する処理物を搬送することが可能な、前記チャンバ(1) 内に設けられている搬送アーム(2) と、前記処理装置(4a,4b,4c,4d,4e)において載置する位置に、前記処理物の位置合わせをすることが可能な、前記チャンバ(1) 内に設けられている複数の位置合わせ装置(3a,3b,3c,3d,3e)と、を具備することを特徴とするクラスタ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/00