特許
J-GLOBAL ID：200903039786698064
プラズマからの熱の伝導による半田付け方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-349877
公開番号（公開出願番号）：特開平5-277717
出願日： 1992年12月02日
公開日（公表日）： 1993年10月26日
要約：
【要約】【目的】 複数の半田突出物(205)を第1の面(25)上に付着し、そして複数の半田パッド位置(250)を第2の面(23)上に準備して、フラックスを使用することなく半田付け可能にする。【構成】 第1および第2の面(25,23)は、複数の半田突出物(205)の各々を第2の面上における対応する半田パッド位置(250)に近接して置くように、互いに密接に隣接して置かれる。第1の面、第2の面および半田は、低い圧力へと排気されたチャンバ(10)内に置かれる。プラズマ(18)は、第1および第2の面を加熱するチャンバ内で励起され、以って、熱伝導により、複数の半田突出物および複数の半田パッド位置を加熱し、複数の半田突出物を第1の面上へかつ第2の面上での複数の半田パッド位置上へとリフローさせて、その間に、複数の半田接合部(42)を形成する。
請求項（抜粋）：
プラズマ(18)からの熱の伝導によって半田付けする方法において:複数の半田突出物(205)を第1の表面(25)上に付着させるステップと;複数の半田パット位置(250)を第2の表面(23)上に準備するステップと;前記複数の半田突出物(205)の各1つが前記第2の表面(23)上における複数の半田パッド位置(250)の対応するものと接触し、前記複数の半田突出物(205)の少なくとも1つと前記複数の半田パッド位置(250)の対応するものとがプラズマ(18)との直接的接触から遮蔽されるようにして、前記第1および第2の表面(25,23)を互いに接触させるステップと;半田突出物(205)を含む第1の表面(25)および複数の半田パッド位置(250)を含む第2の表面(23)をチャンバ(10)内に置くステップと;前記チャンバ(10)を低い圧力へ排気するステップと;前記プラズマ(18)をチャンバ(10)内に与えるステップと;前記プラズマ(18)を励起するステップと;前記プラズマ(18)でもって、前記第1および第2の表面(25,23)を加熱するステップと;前記第1および第2の表面(25,23)からの熱伝導により前記複数の半田突出物(205)および複数の半田パッド位置(250)を加熱するステップと;そして前記第1の表面(25)上における複数の半田突出物(205)を前記第2の表面(23)上における複数の半田パッド位置(250)上へとリフローさせて、前記第1および第2の表面(25,23)間に複数の半田接合部(42)を形成するステップと;を具備することを特徴とするプラズマ(18)からの熱の伝導によって半田付けする方法。
IPC (3件)：
B23K 1/008
, B23K 3/04
, H01L 21/60 311
