特許
J-GLOBAL ID：200903039797128138
共焦点距離センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
矢野 敏雄
, 山崎 利臣
, 久野 琢也
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-320137
公開番号（公開出願番号）：特開2004-101532
出願日： 2003年09月11日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】共焦点結像原理による高速な光学式距離測定のためのセンサにおいて、センサと表面スポットとの間の間隔測定に対して、センサと表面スポットとの間の相対的な運動も、センサの光学素子の機械的な運動も必要としないように改善を行うこと。【解決手段】様々なスペクトル成分を有する照明光を発光する光源と、結像光学系を設け、該結像光学系により、照明光を測定対象物の表面に配向し、当該結像光学系の色収差に基づいて照明光の異なるスペクトル成分が結像光学系から種々異なる間隔で集束させ、、表面から少なくとも部分的に反射された測定光が照明光のビーム経路から空間的に分離するようにビームスプリッタを設け、照明光のビーム経路から空間的に分離された測定光をスペクトル分解能を用いて検出する光受信器を設け、さらに評価ユニットを設けて、異なるスペクトル成分毎に検出された測定光の光強度から、当該センサと表面との間の間隔を求めるように構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
共焦点結像原理に従った高速な光学式距離測定のためのセンサにおいて、
光源(110、210)を有しており、該光源は様々なスペクトル成分を有する照明光(112、212)を発光するものであり、
結像光学系(130、230)が設けられており、該結像光学系により、照明光(112、212)が測定対象物の表面(240)に配向され、この場合当該結像光学系(130、230)の色収差に基づいて照明光(112、212)の異なるスペクトル成分が結像光学系(130、230)から種々異なる間隔で集束され、
ビームスプリッタ(120、220)を有しており、該ビームスプリッタは、表面(240)から少なくとも部分的に反射された測定光(152、252)が照明光(112、212)のビーム経路から空間的に分離するように配列されており、
光受信器(150、250)が設けられており、該光受信器は、照明光(112、212)のビーム経路から空間的に分離された測定光(152、252)をスペクトル分解能を用いて検出するものであり、
さらに評価ユニットを有しており、該評価ユニットは、異なるスペクトル成分毎に検出された測定光(152、252)の光強度から、当該センサ(100、200)と表面(240)との間の間隔を求めるように構成されていることを特徴とするセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
2F065AA06
, 2F065DD06
, 2F065FF10
, 2F065GG12
, 2F065GG15
, 2F065GG24
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL42
, 2F112AB05
, 2F112BA02
, 2F112BA05
, 2F112DA04
, 2F112DA11
, 2F112DA24
, 2F112DA28
