特許

J-GLOBAL ID：200903039797866295

フォトダイオードアレイ相対感度測定方法及びこれを用いた測定装置

発明者： 三浦 明 ,  三瓶 義広 ,  榊原 勝利 ,  藤田 忠重 ,  赤坂 恭一 ,  豊田 啓孝
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-035579
公開番号（公開出願番号）：特開2000-236107
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】 一般的な光源でフォトダイオードアレイの相対感度測定が可能なフォトダイオードアレイ相対感度測定方法及びこれを用いた測定装置を実現する。【解決手段】 フォトダイオードアレイ相対感度測定方法において、異なる照射位置の2つのガウスビームの一部を重ね合わせて被測定対象のフォトダイオードアレイに入射しておき、フォトダイオードアレイを構成する個々のフォトダイオード素子の出力を取り込み、記フォトダイオードアレイの相対感度を求める。

請求項（抜粋）：

フォトダイオードアレイ相対感度測定方法において、異なる照射位置の2つのガウスビームの一部を重ね合わせて被測定対象のフォトダイオードアレイに入射しておき、前記フォトダイオードアレイを構成する個々のフォトダイオード素子の出力を取り込み、前記フォトダイオードアレイの相対感度を求めることを特徴とするフォトダイオードアレイ相対感度測定方法。

Fターム (3件)：

5F049MA01 ,  5F049NA20 ,  5F049RA02