研磨装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-116257
公開番号（公開出願番号）：特開平6-320413
出願日： 1993年05月19日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：

【要約】【目的】スライスした単結晶を研磨する枚葉式研磨装置に関し、特性の向上を目的とする。【構成】研磨用ヘッドの先端部に研磨布のブラッシング手段とブラッシの内側に研磨剤を供給する手段を備えると共に、回転定盤の回転中心に対し研磨用ヘッドの対称位置に同一の加圧機構をもつドレス用ヘッドを備え、ドレス用ヘッドが下面にドレッシングプレートをもつと共にドレッシングプレートに純水を供給して洗浄する手段を備えており、研磨用ヘッドと連動して揺動回転することを特徴として研磨装置を構成する。

請求項（抜粋）：

回転定盤上に貼着してある研磨布上に研磨剤を供給する手段と、下面に薄層基板を固定してある研磨用ヘッドを研磨布に加圧しながら揺動回転させて前記基板の接触面を研磨する手段を備えてなる研磨装置において、前記研磨用ヘッドが先端部に研磨布のブラッシング手段と該ブラッシの内側に研磨剤を供給する手段を備えると共に、回転定盤の回転中心に対し該研磨用ヘッドの対称位置に同一の加圧機構をもつドレス用ヘッドを備え、該ドレス用ヘッドが下面にドレッシングプレートをもつと共に該ドレッシングプレートに純水を供給して洗浄する手段を備えており、前記研磨用ヘッドと連動して揺動回転することを特徴とする研磨装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-068360
特開昭63-068360

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