特許

J-GLOBAL ID：200903039805676972

クリーン度の高い検査装置

発明者： 藤原 馨 ,  久慈 基弘
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338230
公開番号（公開出願番号）：特開平9-153530
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】 装置本体内で空気の下降流を作る従来の検査装置の場合には、空気の下降流を作ってパーティクルを排気するようにしてあるが、カセット、ピンセット及び載置台等が装置本体内の大部分の面積を占め、これらが下降流の抵抗体となって下降流の乱流を生じ、この乱流によりパーティクルが舞い上がってパーティクルを装置本体内から効果的に排出、除去することができない。【解決手段】 本検査装置は、装置本体7内の収納空間2及び検査空間6の各正面から装置本体7の背面に向かって流れる水平空気流を作る第1、第2送風手段14、15を収納空間2及び検査空間6の各正面に設けると共に、少なくとも装置本体7の背面に水平空気流を排出する排気ダクト16を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被処理体を収納する収納部と、この収納部の被処理体を搬送する搬送機構と、この搬送機構により搬送された被処理体を載置する載置台と、この載置台上の被処理体と接触してその電気的検査を行う接触子とを装置本体内に備えた検査装置において、上記装置本体内の空間をその一側面からその対向側面に向かって流れる水平空気流を作る送風手段を上記一側面に設けると共に、少なくとも上記対向側面に上記水平空気流を排出する排気手段を設けたことを特徴とする検査装置。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  F24F 7/06 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/66 B ,  F24F 7/06 C ,  G01R 31/26 Z ,  H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-170014
  
• 環境制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-210395   出願人：松下電器産業株式会社
• 熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-040408   出願人：東京エレクトロン東北株式会社