タンタルコンデンサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-232898
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074647
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】静電容量値が一定で、且つ耐電圧特性、絶縁性に優れたタンタルコンデンサを提供することにある。【構成】タンタル製本体2の一部に被着させた窒化タンタル膜3に酸窒化タンタル膜4を形成するとともに前記酸窒化タンタル膜4及びタンタル製本体2に電極5、6を被着させてタンタルコンデンサ1を形成した。タンタルコンデンサ1を回路基板の配線導体に半田等のロウ材を介して取着する際、ロウ材を溶融させる熱が酸窒化タンタル膜4に印加されても該酸窒化タンタル膜4の酸素が抜けることは殆どなく、その結果、酸窒化タンタル膜4の膜厚を常に一定としてタンタルコンデンサ1の静電容量値を一定となすとともに耐電圧特性及び絶縁性を優れたものとなすことが可能となる。

請求項（抜粋）：

タンタル製本体と、前記タンタル製本体の一部に被着された窒化タンタル膜と、前記窒化タンタル膜に形成された酸窒化タンタル膜と、前記酸窒化タンタル膜上に配置された電極とから成るタンタルコンデンサ。

IPC (3件)：

H01G 4/10 , H01G 4/08 , H01G 9/05

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭50-108551
特開昭48-022964
特開昭52-053257

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