真空に依る、ウエハーテープ貼り機

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-225189
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007808
出願日： 2001年06月20日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】大気中でローラーを用いてウエハーにテープを貼る際に、ウエハーとテープ間に空気が残留し、次工程で障害が発生していた。これを解決する、ウエハーとテープ間の空気残留が零となろテープ貼り機を提供する。【解決手段】ウエハーと、ウエハーに貼るテープのついたシートリングを本体にセットし、ゴムシートの付いた上蓋を載せ、本体側の部屋と上蓋側の部屋とを真空にし、その後、上蓋側の部屋を大気に切り替えて膨張するゴムシートでテープを押圧して貼り付ける。

請求項（抜粋）：

ウエハーにテープを貼るのに真空を用いる方法

Fターム (5件)：

5F031CA02 , 5F031DA15 , 5F031MA37 , 5F031NA05 , 5F031PA30

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