特許
J-GLOBAL ID：200903039814529893
表面欠陥検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-249610
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102195
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】被検査材の表面温度が高温であっても、高い感度でこの表面の検査を行ない欠陥を検出する表面欠陥検査方法及び装置を提供する。【構成】熱延鋼板22からの散乱光がCCDラインセンサカメラ28に入射される前に、CCDラインセンサカメラ28に備えられた光学フィルタ32が、550nmを越える波長の強度を除去する。この結果、波長が550nmを越える電磁波の放射エネルギによるノイズが除去され、高い感度でこの表面の検査を行ない欠陥を検出することができる。
請求項（抜粋）：
被検査材の表面に光を照射し、前記表面で反射された前記光の反射光を検出することにより前記被検査材の表面欠陥を検出する表面欠陥検査方法において、前記反射光を検出する際に、前記表面から放射される電磁波を除去することを特徴とする表面欠陥検査方法。
IPC (2件)：
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