特許

J-GLOBAL ID：200903039818984455

液晶用基板の液体噴射装置

発明者： 山内 哲也 ,  木村 誠
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 藤本 博光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-322883
公開番号（公開出願番号）：特開平9-160006
出願日： 1995年12月12日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 洗浄液、現像液、エッチング液等の処理液による液晶用基板表面での処理状態のばらつきを極力抑制する。【解決手段】 液体噴射装置は、処理液を基板3に向かって噴射する複数のノズル5を有し、かつ、基板3の搬送方向4に対して概略直交する方向に延びるノズルパイプ1を複数備えている。ノズル5は側方視で水平方向に対してノズルパイプ1の下方45°に形成された穴であり、その穴はノズル5の噴射方向が平面視でノズルパイプ1の半径方向に対して45°傾斜するように形成されている。ノズル5の噴射方向2は、そのノズル5と対向するノズル5の噴射方向2に対して逆方向であり、そのノズル5から噴射された処理液は、対向するノズル5から噴射された処理液と衝突することなく交差する。

請求項（抜粋）：

液晶表示装置を製造する工程のうち湿式工程において用いられる液晶用基板の液体噴射装置において、処理液を基板に向かって噴射する複数のノズルからなると共に基板の搬送方向に対して概略直交する方向に並ぶノズル列を複数備え、各ノズルの噴射方向は、当該ノズルから噴射された処理液と、当該ノズルと対向するノズルから噴射された処理液とが基板上で合流して基板の搬送方向に対して概略直交する方向に流れるように、平面視で基板の搬送方向に対して左右一側に傾斜していることを特徴とする液晶用基板の液体噴射装置。

IPC (3件)：

G02F 1/1333 500 ,  B08B 3/04 ,  G02F 1/13 101

FI (3件)：

G02F 1/1333 500 ,  B08B 3/04 A ,  G02F 1/13 101