特許
J-GLOBAL ID：200903039822164829
気密試験方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323702
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181100
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月18日
要約：
【要約】【目的】ヘリウムガスを吸蔵する特性をもつガラス系セラミック材を用いた気密封止部品の気密試験方法を提供すること。【構成】図2のヘリウムガスを検出する質量分析型リーク検出器を使用したグロスリーク試験工程と、図3、図4の熱風循環方式脱ガス装置を使用した脱ガス工程と、図2のヘリウムガスを検出する質量分析型リーク検出器を使用した微小リーク試験工程とからなることを特徴とする気密試験方法。【効果】ガラス系セラミック材などのヘリウムを吸蔵する特性をもつ材料を用いた気密封止部品の気密試験を実現できるという顕著な効果がある。
請求項（抜粋）：
ガラス系セラミック部材をその構成要素にもつ気密封止部品の気密性試験において、被処理品を加熱し熱風を吹き付ける工程と、その後で気密封止部品からの漏洩ガスを検出する工程とからなる気密試験方法。
IPC (3件)：
G01M 3/20
, G01M 3/00
, G01M 3/04
